원인

일론 머스크가 테라팹에 ASML의 LPP 방식 대신 자유전자레이저(FEL)를 EUV 광원으로 검토 중이며, FEL은 전력 소모를 약 84% 줄일 수 있다. 다만 현재 FEL 기반 EUV 광원을 상용 공급하는 업체는 없다.

영향이 전달되는 경로

테라팹이 FEL-EUV 광원 검토 → 전력 효율 84% 개선 가능 → 반도체 생산 비용 절감 기대 → 다만 FEL 시스템은 대형 설비가 필요하고 상용 공급 업체가 없어 기술 검증 필요 → ASML 의존도는 광학계·마스크 등에서 여전히 높음 → 단기적으로 반도체 장비 업계에 미치는 영향 제한적

확인된 변화

• 테라팹이 FEL-EUV 광원을 검토할 가능성이 있다는 보도가 나왔다.

이어진 일

• 2026-08-08 · 일론 머스크가 스페이스X 2분기 실적 발표 후 컨퍼런스콜에서 "현재 가장 큰 제약 요인은 메모리"라고 말하며, 메모리 생산량은 연간 20% 증가하지만 수요는 연간 200% 이상 증가해 가격이 상승할 것이라고 전망했다. 또한 테슬라와 스페이스X가 텍사스에 최대 1190억 달러를 투입하는 테라팹 프로젝트를 추진 중이다.

성립 조건

• FEL-EUV가 실제로 상용화되고 테라팹에 적용될 경우
• FEL-EUV가 채택되더라도 ASML이 호환 시스템을 제공할 수 있을 경우

반대 신호

• FEL 시스템은 기존 반도체 공장에 넣기 어려울 정도로 큰 설비가 필요하다.
• 현재 FEL 기반 EUV 광원을 상용 공급하는 업체가 없다.
• 테라팹이 FEL을 채택하더라도 ASML 의존도를 완전히 없애기는 어렵다.